Классическая книга C ++ Template Metaprogramming: понятия, инструменты и методы из Boost and Beyond поставляется с 20-страничным приложением для профилирования затрат времени компиляции. У этого есть компаньонный компакт-диск с кодом, который генерирует графики в этом приложении.
Другая бумага - http://aszt.inf.elte.hu/~gsd/s/cikkek/profiling/ profile.pdf , возможно, это вам полезно.
Еще один, но более трудоемкий способ - подсчитать количество экземпляров каждого класса из вашего компилятора.